一种石墨烯的转移装置及转移方法

摘要

本发明提供了一种石墨烯的转移装置以及转移方法，尤其是一种将石墨烯转移至衬底上的装置以及方法。本发明的石墨烯转移装置以及转移方法简单易行，可以简易地将大面积石墨烯薄膜转移到任意衬底上并且损伤较小。

主权项

一种石墨烯的转移装置，其包括至少一个透气的转移壁，所述转移壁与转移装置的其它壁一起构成腔体，所述腔体具有至少一个腔体内气压的控制装置，所述转移装置的一部分或全部由惰性材料制成；所述转移装置包括至少一个向腔体内通入流体的装置，所述流体为惰性的有机或无机溶剂；其中所述至少一个透气的转移壁包括由至少一个透气层构成的透气部分，所述透气层为由透气材料构成的透气膜或由非透气材料构成的多孔膜；其中所述透气层可以为一层或多层，当其为多层时，不同透气层之间的厚度可以相同或不同；所述透气层的厚度各自独立地为50μm至5mm；同一多孔膜的孔径，以及当多孔膜为多层时不同多孔膜的孔径之间可以相同或不同，并且各自独立地为20nm至5mm。