一种定向固化保温热场

摘要

一种定向固化保温热场，包括保温隔热笼、热交换台、坩埚、加热器，隔热笼体的内侧面设置第一保温板、第二保温板和第三保温板，第一保温板、第二保温板从内侧面向内依次对应贴覆隔热笼体的顶部和侧壁的整个内侧面，第三保温板贴覆第二保温板内侧面的一部分，第三保温板从隔热笼体底部向上对应贴覆到隔热笼体的1/2～2/3高度处；坩埚的外侧壁设置三层保温层，坩埚的底部设置两层保温层；隔热笼体的第三保温板与坩埚侧壁的最外层的保温层之间小间隙配合。本实用新型通过在保温热场的薄弱环节增设保温材料，并控制保温材料的高度以及彼此之间的配合间隙，形成均衡的保温热场，从而能够更好的控制硅晶体定向均衡生长。

主权项

一种定向固化保温热场，包括连接有提升装置（1）的由隔热笼体和下保温板（2）组成的保温隔热笼、设置在保温隔热笼内的热交换台（7）、放置在热交换台（7）上的坩埚（6）、设置在坩埚（6）顶部和侧壁的加热器（5），其特征在于：所述隔热笼体的内侧面设置第一保温板（41）、第二保温板（42）和第三保温板（43），第一保温板（41）对应贴覆隔热笼体的顶部和侧壁的整个内侧面，第二保温板（42）对应贴覆第一保温板（41）的整个内侧面，所述第三保温板（43）贴覆第二保温板（42）内侧面的一部分，第三保温板（43）从隔热笼体底部对应贴覆第二保温板（42）的位置向上对应贴覆到隔热笼体的1/2～2/3高度处；所述坩埚（6）的外侧壁设置三层保温层（61），坩埚（6）的底部设置两层保温层（61）；所述隔热笼体的第三保温板（43）与坩埚侧壁的最外层的保温层（61）之间的间隙为10~15mm。