| 发明名称 | 一种光刻机用陶瓷吸盘 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括：本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通；还包括：第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。本实用新型在本体的内部筋板上设有凹槽，凹槽可以释放陶瓷材料内部的应力，既满足产品的使用要求，又避免在吸盘的制作过程中，因陶瓷烧结过程中产生的内应力使吸盘变形。 | ||
| 申请公布号 | CN204287728U | 申请公布日期 | 2015.04.22 |
| 申请号 | CN201420681477.6 | 申请日期 | 2014.11.10 |
| 申请人 | 中国建筑材料科学研究总院 | 发明人 | 刘海林;霍艳丽;贾志辉;梁海龙;胡传奇;黄小婷;唐婕;陈曙光 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人 | 王伟锋;刘铁生 |
| 主权项 | 一种光刻机用陶瓷吸盘，包括：本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通；其特征在于，还包括：第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。 | ||
| 地址 | 100024 北京市朝阳区管庄东里1号 | ||