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发明名称
Procédé et appareil de contrôle d'un dépôt de revêtement
摘要
申请公布号
FR1411407(A)
申请公布日期
1965.09.17
申请号
FR19640991143
申请日期
1964.10.12
申请人
EDWARDS HIGH VACUUM INTERNATIONAL LIMITED
发明人
分类号
C23C14/54
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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