一种Zr-Cu金属玻璃薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了Zr-Cu金属玻璃薄膜的新制备方法，其特征在于：使用电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统，将Zr和Cu作为靶材分别放置在电子束蒸发用铜坩埚和电阻蒸发用钨舟中，将衬底放置在衬底托盘上，抽真空、调节电子束束流值和电阻蒸发电流，同时控制沉积时间，即可制备不同成分与不同厚度的Zr-Cu金属玻璃薄膜样品。本发明的方法不需要加冷却装置，简化了制备工艺，降低了生产成本。

主权项

一种Zr‑Cu金属玻璃薄膜的制备方法，其特征在于：使用电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统，将Zr和Cu作为靶材分别放置在电子束蒸发用铜坩埚和电阻蒸发用钨舟中，将衬底放置在位于铜坩埚上方的衬底托盘上，抽真空至1×10^‑4Pa以下，调节电子束束流值在150～190mA，调节电阻蒸发电流为160～185A，使Zr和Cu同时蒸发并沉积在衬底上，控制沉积时间为1～4h，即得沉积有Zr‑Cu金属玻璃薄膜的衬底。