一种多晶硅棒生长速度及直径的检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅棒生长速度及直径的检测装置及检测方法，检测装置包括摄像装置和工业计算机，所述摄像装置与所述工业计算机电连接，所述摄像装置设置于多晶硅还原炉炉壁的石英视镜前方。检测方法包括如下步骤：(1)多晶硅还原炉内放置硅棒棒芯；(2)摄像装置采集数据；(3)工业计算机数据分析。本发明通过设计硅棒直径检测的方法，能够获得还原炉运行中硅棒直径这一重要参数，并进而计算得出不同生长阶段的沉积速度、瞬时电耗和瞬时转化率等，以此为依据指导和优化还原炉的运行，根据硅棒生长直径情况给定合理的原料、加热电流，从而提高还原炉的运行效率。

主权项

一种多晶硅棒生长速度及直径的检测装置，其包括摄像装置和工业计算机，所述摄像装置与所述工业计算机电连接，其特征在于，所述摄像装置设置于多晶硅还原炉炉壁的石英视镜前方。