多晶硅介质熔炼时除硼的造渣剂及其使用方法

摘要

本发明公开了一种造渣剂及其在多晶硅介质熔炼提纯中的使用方法。该造渣剂，按重量百分比，由以下原料混合而成：Na₂SiO₃50%～79%、SiO₂20%～40%和TiO₂1%～15%。在多晶硅介质熔炼提纯中加入本发明的造渣剂，将硼在渣剂和硅液中的分配系数L_B数值从2～4有效提高了1～2，提高除硼效果，硅料的硼含量降低至0.3ppmw以下。

主权项

一种造渣剂在多晶硅介质熔炼中的使用方法，所述方法包括如下步骤：(1)将硅料加入到熔炼坩埚内，采用中频感应炉加热至硅料全部熔化成硅液；(2)将造渣剂按照原料组成加入到混料机中混合均匀；(3)混合好的造渣剂加入到步骤(1)的硅液中，加热至造渣剂全部熔化，进行介质熔炼；(4)介质熔炼结束后，将浮在熔体表面的炉渣全部倾倒出；(5)重复步骤(3)～(4)2～4次，得到的硅液倾倒入模具中冷却凝固；所述的造渣剂按重量百分比，由以下原料混合而成：Na₂SiO₃50％～79％、SiO₂20％～40％和TiO₂1％～15％；所述步骤(4)中介质熔炼结束后，控制温度1500±20℃，将浮在熔体表面的炉渣全部倾倒出。