硬盘磁头驱动器位置精度测量装置

摘要

本实用新型涉及精度检测设备技术领域，特指一种基于高精度激光轮廓传感器的硬盘磁头驱动器位置精度测量装置。所述的精度检测装置包括机体、高精度激光轮廓传感器和可三轴移动的自动滑台装置。机体可分为上下两层，上层共装有五个高精度激光轮廓传感器，下层中心处设置有可三轴移动的自动滑台装置，自动滑台上装有工作台。该装置可实现工作台的上下、前后、左右运动。整个机构相对于现有工作台，具有结构简单、自动化程度高、测试数据误差小、测试项目多元化等优点,实现了可以大大提高检测效率。

主权项

一种可X轴、Y轴、Z轴三个方向滑动的硬盘磁头驱动器位置精度测量装置，其特征在于：该装置包括机体(1)、高精度激光轮廓传感器(2,3,4,5,6)和可三轴移动的十字自动滑台装置(17)，机体(1)可分为上下两层，上层共装有五个高精度激光轮廓传感器(2,3,4,5,6)，下层中心处设置有可三轴移动的十字自动滑台装置(17)，自动滑台(E)上装有工作台(10)，工作台(10)可X轴、Y轴、Z轴三个方向实现上下、左右、前后的滑动。