成型电极大气等离子体加工回转零件方法

摘要

成型电极大气等离子体加工回转零件方法，它属于等离子体加工碳化硅或融石英等硅基材料回转类零件的技术领域。针对目前加工方法效率低和质量差的问题，提出了这种方法。它的步骤一：将旋转成形电极的上端面连接在转轴上；步骤二：将待加工零件装卡在载物台上；步骤三：使旋转成形电极靠近待加工零件的待加工表面；步骤四：预热射频电源和混合等离子体气源；步骤五：使旋转成形电极做回转运动，启动射频电源；步骤六：控制旋转成形电极的运动轨迹和在零件表面的驻留时间；步骤七：取出待加工零件。本发明专利采用成型电极大气等离子体加工，实现了全表面复映去除，同时解决了高精度回转零件的加工效率和质量问题。

主权项

成型电极大气等离子体加工回转零件方法，其特征在于它的步骤方法是：步骤一：将旋转成形电极(1)的上端面绝缘连接在升降装置(2)的竖直运动工作转轴(2‑1)上，旋转成形电极(1)的中心开有出气孔(1‑1)；在加工内表面时，旋转成形电极(1)的工作面直径尺寸需要比待加工零件(4)的内表面直径尺寸小5mm‑15mm，在加工外表面时，旋转成形电极(1)的工作面直径尺寸需要比待加工零件(4)的外表面直径尺寸大5mm‑15mm；出气孔(1‑1)通过气管(5‑1)与混合等离子体气源(5)导气连通；使旋转成形电极(1)与射频电源(3)的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；步骤二：将待加工零件(4)装卡在载物台(2‑2)上，将载物台(2‑2)接地作为大气等离子体放电的阴极；步骤三：使旋转成形电极(1)靠近待加工零件(4)的待加工表面，并使它们之间保持放电间隙，放电间隙范围为5mm‑15mm；步骤四：预热射频电源(3)和混合等离子体气源(5)，预热时间为5‑10分钟；然后打开混合等离子体气源(5)，使等离子体气体的流量为1升/分钟～40升/分钟，反应气体与等离子体气体的流量比为1∶10～1∶50；辅助气体与反应气体的流量比为1∶10～1∶1；步骤五：当旋转成形电极(1)和待加工零件(4)的待加工表面之间的区域内充满等离子体气体、反应气体与辅助气体的混合气体后，启动升降装置(2)的转轴(2‑1)转动，使旋转成形电极(1)做回转运动，启动射频电源(3)，逐步增加射频电源(3)的功率，使功率达到100W‑400W，同时控制射频电源(3)的反射功率为零，在射频电源(3)工作的过程中持续稳定的通入混合气体，使旋转成形电极(1)和待加工零件(4)的待加工表面之间的放电区域产生稳定的等离子体放电；步骤六：根据去除量的要求，控制旋转成形电极(1)的运动轨迹和在零件表面的驻留时间，用上述产生的大气等离子体对零件表面进行加工；步骤七：待加工完成后，关闭射频电源(3)的电源，关闭混合等离子体气源(5)，取出待加工零件(4)，对加工去除深度进行测量，以判断是否达到加工要求。