一种移动式定频高周波加热温控装置

主权项

一种移动式定频高周波加热温控装置，其装置系包括一长晶舱体单元，具有一容置长晶之空间；一加温单元，环绕设置于该坩锅外长晶舱体单元外，供以高周波产生该长晶舱体单元内所需之热能，系设置于该升降单元上方；一升降单元，以环绕设置于该加温单元下方，用以移动加温单元可沿长晶舱体单元上下位移；一传动单元，系设置于该升降单元下方，用以连结驱动单元及升降单元之作动；及一驱动单元，系设置于该传动单元一侧用以驱动其传动单元使得该升降单元上-下位移，藉由移动式加温单元透过升降单元与驱动单元，产生可移动的温度梯度，配合高周波加热功率、温度量测、压力量测、气体浓度等参数，由控制系统控制高周波加热线圈移动速率，随着晶体成长维持稳定的温度梯度，提升长晶制程品质。