电浆处理装置及电浆处理方法

主权项

一种电浆处理装置，包括：室；导入构件，将处理气体导入该室中；基底电极，配置在该室中以及具有多数电极元件组，基底直接或间接设于该基底电极上；高频电源，输出高频电压，用于离子化该处理气体以产生电浆；以及多数低频电源，施加多数具有几乎相同于或低于20MHz的频率且彼此不同相位的低频电压至该多数电极元件组中的各电极元件组，以将离子从该电浆导入。