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经营范围
发明名称
电子显微镜及电子线检测器
摘要
申请公布号
TWI482193
申请公布日期
2015.04.21
申请号
TW102126278
申请日期
2013.07.23
申请人
日立全球先端科技股份有限公司
发明人
今村伸;大嶋卓;小瀬洋一;平根贤一
分类号
H01J37/244;H01J37/26;G01T1/20
主分类号
H01J37/244
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
一种电子显微镜,其特征系具备:板状的闪烁器,其系藉由电子线的射入来发出萤光;及光导,其系具有比前述闪烁器的折射率更小的折射率,将在前述闪烁器发光的萤光予以导光;前述闪烁器系接合前述光导的端面藉由往外侧凸状的曲面所形成,经由前述凸状的曲面来接合于前述光导之是平坦面的端面。
地址
日本
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