高纯度硫酸溶液之制备方法

主权项

一种高纯度硫酸溶液之制备方法，至少包含：提供一混合溶液，其中该混合溶液包含硫酸、一第一溶液、过氧化氢、水、氧气、一不溶性不纯物以及一触媒材料，且该第一溶液之沸点高于该硫酸之沸点；将该混合溶液利用一重力流于一大气压下依序进行一第一预热步骤、一第二预热步骤以及一蒸馏步骤，以形成一第二溶液，其中该第一预热步骤去除该过氧化氢、该水与该氧气，该第二预热步骤与该蒸馏步骤去除该水，该第一预热步骤之温度系低于该第二预热步骤之温度，且该第二预热步骤之温度系低于该蒸馏步骤之温度；将该第二溶液进行一蒸发步骤，以于高于该硫酸之沸点且低于该第一溶液之沸点的温度下，去除该不溶性不纯物以及该第一溶液，并获得一第一气体，其中该第一气体包含三氧化硫(SO3)、硫酸以及水；以及利用硫酸溶液吸收该第一气体，以形成一高纯度硫酸溶液，其中该高纯度硫酸溶液之浓度系至少96重量百分比，且该高纯度硫酸溶液之杂质系不大于0.1十亿分之一莫耳浓度(ppb)。