| 发明名称 |
挥发性第２族金属前驱物 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI481617 |
申请公布日期 |
2015.04.21 |
| 申请号 |
TW099116897 |
申请日期 |
2010.05.26 |
| 申请人 |
气体产品及化学品股份公司 |
发明人 |
诺门 约翰 安东尼 汤马士 |
| 分类号 |
C07F3/00;C23C16/40;C23C16/44 |
主分类号 |
C07F3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈展俊 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2;林圣富 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2 |
| 主权项 |
一种包含经多官能化的吡咯基阴离子配位于金属离子的化合物，该化合物系选自由下列各式所组成的群组：
其中R1至R16各自独立地为H；C1-C10一级、C3-C10二级或C4-C10三级烷基；M1为Ba或Sr；M2及M3个别系Sr或Ba；而且n=0。 |
| 地址 |
美国 |
