半导体基板之表面处理方法

主权项

一种处理一基材的方法，包括：提供一基材，该基材具有一缺陷或一污染中之至少一者配置于该基材之一表面上或附近；及在包含氢之一处理气体存在下，以一雷射束选择性退火该基材。