探针装置

主权项

一种探针装置，系可模组式地组装在一载板上或从该载板拆卸，该探针装置包含：一空间转换器，具有相对应的第一及第二表面，该空间转换器的第一表面与该载板电性连接；一固持件，该固持件具有复数个XY轴定位件及一容置空间，该等XY轴定位件设置在该固持件上，该等XY轴定位件可抵靠该空间转换器的侧边，以调整该空间转换器在该固持件中的XY轴相对位置；该容置空间容置该空间转换器，该固持件可固定于该载板或从该载板拆卸；以及一探针头部，包含有复数个探针，该探针头部固定于该固持件上，该些探针分别电性连接该空间转换器的第二表面。