| 主权项 |
一种感光性树脂组合物，其包含(A-1)含有由下述通式(1)所表示之结构之树脂及(B)光酸产生剂，
{式(1)中，X分别独立为氢原子、选自由碳数2~20之烷氧基羰基、碳数2~20之烷氧基羰基甲基、碳数2~20之烷氧基烷基、经至少1个碳数1~10之烷基取代之矽烷基、四氢吡喃基及四氢呋喃基所组成之群中之一价基，m1分别独立为1~3之整数，m2分别独立为0~2之整数，2≦(m1+m2)≦4，m3及m4分别独立为0~4之整数，n1及n2分别独立为1~500之整数，于m1为2或3之情形时，n1/(n1+n2)为0.05~0.95之范围，于m1为1之情形时，n1/(n1+n2)为0.35~0.95，R1分别独立为选自由碳数1~10之烃基、碳数1~10之烷氧基、硝基、氰基及由下述通式(5)或(6)所表示之基所组成之群中之一价基，于m2为2之情形时，复数个R1可分别相同或者亦可不同，R2~R5分别独立为氢原子、碳数1~10之一价脂肪族基、或者氢原子之一部分或全部被氟原子取代之碳数1~10之一价脂肪族基，R6及R7分别独立为卤素原子、羟基或一价有机基，于m3为2~4之整数之情形时，复数个R6可分别相同或者亦可不同，于m4为2~4之整数之情形时，复数个R7可分别相同或者亦可不同，Y为由下述通式(3)或(4)所表示之
二价有机基，W为单键、选自由碳数1~10之链状脂肪族基、氢原子之一部分或全部被氟原子取代之碳数1~10之链状脂肪族基、碳数3~20之脂环式基、氢原子之一部分或全部被氟原子取代之碳数3~20之脂环式基、重复单元数1~20之环氧烷基及由下述通式(2)：所表示之基所组成之群中之二价基，并且聚合物之结构可为无规亦可为嵌段}-CR8R9- (3)(式(3)中，R8及R9分别独立为氢原子、或者碳数1~11之一价有机基，或者含有羧基、磺酸基及酚性羟基之基){式(4)中，R11~R14分别独立为氢原子、碳数1~10之一价脂肪族基、或者氢原子之一部分或全部被氟原子取代而成之碳数1~10之一价脂肪族基，m5为1~4之整数，于m5为1之情形时，R10为羟基、羧基或磺酸基，并且m5为2~4之整数之情形时，至少1个R10为羟基，其余之R10为卤素原子、羟基、一价有机基、羧基或磺酸基，并且全部R10可相同或者亦可不同}{式(5)中，R15系选自由羟基、碳数1~12之脂肪族基、
碳数3~12之脂环式基、碳数6~18之芳香族基、-NH2、-NH-R19、-N(R19)2及-O-R19所表示之基所组成之群中之一价基(其中，R19系选自碳数1~12之脂肪族基、碳数3~12之脂环式基或碳数6~18之芳香族基中之一价基)}{式(6)中，R16及R17'分别独立为氢原子、选自由碳数1~12之脂肪族基、碳数3~12之脂环式基及碳数6~18之芳香族基所组成之群中之一价基，并且R16与R17'亦可形成环}。 |
