钻石磊晶成长方法

主权项

一种钻石磊晶成长方法，包含：提供一钻石基板；沉积至少一金属层于该钻石基板上，其中该金属层之金属成分系选自由铜、铂、铱、镍、钴及钯组成的群组，其中该金属成分系满足与钻石晶格差异性小于14%；通入一反应气氛；以及沉积一钻石磊晶层于该钻石基板上，该钻石磊晶层填满该金属层，再以侧向成长的方式形成一连续膜。