| 主权项 |
一种光阻预烤炉加热器之多区结构，其主要系由腔体、加热器、热板及温度感应器所组成，该腔体为一容槽状，位于腔体底部之支撑底板向上依序设有加热器及热板，使加热器能对热板进行加热，顶端面则利用上盖板将其封闭而成一加热空间，仅保留侧边之排风口，以便于空气流通，其特征在于：该加热器系以复数个设置在热板下方，使热板能投影加热器之数量形成复数个小分区，且该小分区在热板上划分成相等面积，至于小分区的分配则系以直轴区及横轴区之隐形线交错产生，使直轴区及横轴区皆能分别划出复数个加热小分区，且于每一小分区内或小分区下方之加热器内设有温度感应器，用以侦测每一小分区的温度，来调整每一小分区的加热与否。 |
