硏磨垫

主权项

一种研磨垫，适用于研磨一研磨物件，该研磨垫包括：一研磨层，系该研磨垫的最上层，且该研磨层包括一聚合物基材以及嵌入于其中的多个聚合物颗粒，其中该些聚合物颗粒之整体外表面与该聚合物基材直接接触；该聚合物基材具有选自于无孔洞结构、封闭型多孔洞结构、或开放型多孔洞结构之其中一种；以及该些聚合物颗粒具有选自于封闭型多孔洞结构或开放型多孔洞结构之其中一种，且该些聚合物颗粒之孔洞结构不同于该聚合物基材之孔洞结构。