微机械振动式角速度感测器

主权项

一种微机械振动式角速度感测器，包括：复数个锚固点；至少两激振结构(excitation structures)，连接于复数个第一弹簧且被该等第一弹簧所支撑，其中该等第一弹簧连接于该等锚固点；以及至少两感振的质量块结构(seismic mass structure)，互相分开设置，该等质量块结构分别透过复数个第二弹簧而连接于该等激振结构并受该等激振结构所支撑；其中该等第一弹簧的至少其中一者为一耦合翘翘板型弹簧，其以硬性(stiff)支撑结构方式耦合于该至少两激振结构，以在一平面(surface plane)上以垂直于该平面的一固定轴旋转，以使该等激振结构在该平面上以平行相反相位振动，并且该平行相反相位振动之其中一个该激振结构之一运动路径与另一个该激振结构之一运动路径于该平面形成两个平行并排的弧线或直线。