结晶化指数取得装置及结晶化指数取得方法

主权项

一种结晶化指数取得装置，其系取得表示形成于对象物上之微结晶矽膜之结晶化程度之结晶化指数者，其具备有：分光式椭圆仪；及运算部，其从藉由利用上述分光式椭圆仪对于对象物上之微结晶矽膜进行测定所取得之测定光谱，求出测定介电函数，变更上述微结晶矽膜之理论介电函数所包含之参数群之值而进行上述理论介电函数相对于上述测定介电函数之拟合，藉此求出结晶化指数；上述理论介电函数系藉由将复数个部分介电函数模型合成而表现，上述复数个部分介电函数模型包含有助于结晶矽膜之介电函数之虚部的2个波峰中之高能量侧波峰之高能量波峰模型；于上述参数群中包含有上述高能量波峰模型之振幅，上述振幅系藉由上述结晶化指数而表现，其他部分介电函数模型之至少1个参数亦藉由上述结晶化指数而表现；于上述拟合时，藉由变更上述结晶化指数，而变更利用上述结晶化指数所表现之参数。