太阳电池制造装置及太阳电池制造方法

主权项

一种太阳能电池制造装置，其特征为具备：切换大气环境与真空环境而可进行基板的进出之加载互锁真空室；在真空环境，对于太阳能电池用之基板而言，导入pn接合形成用之不纯物的离子之处理室；以及内藏有在加载互锁真空室与处理室之间搬送基板之搬送手段之搬送室；前述不纯物的离子之导入则由将来自于离子枪之不纯物的离子予以照射加以进行，离子枪系其离子照射面呈对向于搬送至处理室之基板而加以设置，将从前述离子照射面朝向于基板的侧作为下方，此离子枪系具备可产生含有不纯物的离子之电浆的电浆产生室，和设置于此电浆产生室之下端部而构成离子照射面之栅极板，于其栅极板形成有复数之透孔，形成有此透孔之范围系较基板面积为大，而将此栅极板保持为特定电压而产生于电浆产生室内之电浆中之不纯物的离子呈通过各透孔而导出于下方地加以构成。