| 主权项 |
一种可变流孔型压力控制式流量控制器，其具备压力控制部及可变流孔部，以Qp1=KP1(但P1为流孔上游侧压力，K为常数)对流通在可变流孔部之流孔的流体之流量Qp1进行运算，并且上述流孔为直接接触型金属隔膜阀之阀座和隔膜间的环状间隙所形成的流孔，构成为藉由对上述压力控制部之流量运算控制部改变设定流量讯号Qs及对可变流孔部之流孔开度运算控制部改变流孔开度设定讯号Qz就可执行流量控制范围的转换以及于该流量控制范围之流量控制，其特征为，上述可变流孔部，是由：流孔开度运算控制部；由来自于流孔开度运算控制部之流孔控制讯号所驱动的步进马达；由步进马达驱动转动的偏心凸轮；及利用偏心凸轮隔着膜片压件控制阀开度的直接接触型金属隔膜阀所构成。 |
