研磨装置及方法

主权项

一种研磨装置，用以研磨基板，包括：具有研磨面的研磨台；研磨头，系具有至少一个弹性膜，该弹性膜系组构形成被供应以增压流体的复数个压力室，且该弹性膜系组构成当该等压力室被供应以增压流体时，在流体压力下将该基板压抵于该研磨面；以及控制器，系用以控制该增压流体对该等压力室的供应；其中，该控制器系控制该增压流体的供应，使得在该基板与该研磨面接触时，该增压流体先被供应到位于该基板中央部份的压力室，然后再将该增压流体供应到位于在该基板之中央部份的该压力室的径向外侧的压力室。