承载板及具有该承载板之光学检测设备

主权项

一种承载板，用于一光学检测设备之一真空台上以供承载一待测板，该真空台系具有一容置槽以容置该承载板，该容置槽底面系具有复数个真空吸附孔，其特征在于：该承载板具有复数个通孔，该等真空吸附孔的每一者系对应该等通孔中的至少一者，各该通孔之孔径系小于各该真空吸附孔之孔径，且该承载板之厚度系等于该容置槽深度。