蚀刻设备及输送单元

主权项

一种蚀刻设备，适于对一待蚀刻元件进行蚀刻，该蚀刻设备包括：一蚀刻槽，用以容置一蚀刻液；复数第一输送单元，分别具有一第一轴芯以及复数滚轮，该些滚轮间隔地设置于该第一轴芯；以及至少一第二输送单元，具有一第二轴芯，且该第二输送单元的外表面具有至少一沟槽，该第二输送单元与该些第一输送单元并排设置于该蚀刻槽中，其中该第二输送单元的上缘与该些第一输送单元的上缘位于同一高度，且该第二轴芯的径向直径大于该第一轴芯的径向直径。