強化ガラスの分離のための方法及び装置並びにこれにより生成された製品

摘要

基板を分離するための方法及び装置が開示され、分離された基板から形成される製品も開示される。第１の面及び第２の面を有する基板を分離する方法においては、レーザ光ビームを照射して第１の面を通過させ、その後第２の面を通過させる。レーザ光ビームは、基板の表面上又は基板の外側に位置するビームウェストを有する。レーザ光ビームと基板との間で相対運動を行って、走査される基板の表面上のスポットをガイド経路に沿って走査する。スポット内で照射された基板の部分がレーザ光ビーム内で光を吸収し、基板をガイド経路に沿って分離することができる。