| 摘要 |
投影露光装置のための照明光学ユニット（２５）は、リソグラフィマスク（７）を配置することができる照明視野（５）に向けて照明光（１６）を案内するように機能する。第１のファセットミラー（１９）は、照明光部分ビーム（１６i）を照明視野（５）に向けて案内するための照明チャネルを提供する複数の個々のミラー（２６）を有する。個々のミラー（２６）は、各々が多層反射コーティングを担持する。照明光（１６）のビーム経路内で第１のファセットミラー（１９）の下流には、第２のファセットミラー（２０）が配置される。第２のファセットミラー（２０）のそれぞれのファセット（３５）は、第１のファセットミラー（１９）の個々のミラー（２６）のうちの少なくとも１つと共に、照明光部分ビーム（１６i）を照明視野（５）に向けて案内するための照明チャネルを完成する。個々のミラー（２６）は、それぞれの照明光部分ビーム（１６i）が、個々のミラー（２６）上に入射角（Ｉ）で入射し、それによって入射平面が定められるように配置される。入射角（Ｉ）は、入射平面内で偏光された照明光（１６）に対する反射率Ｒｐと、入射平面と垂直に偏光された照明光（１６）に対する反射率Ｒｓとの間の比Ｒｐ／Ｒｓが０．８よりも小さいように予め定められる。これは、照明が、影露光中に最適な分解能性能を得るように適応可能である照明光学ユニットをもたらす。【選択図】図６ |
