ディスクポンプシステムを用いて減圧して流量を測定するためのシステムおよび方法

摘要

第１のアクチュエータを有する第１のディスクポンプと第２のアクチュエータを有する第２のディスクポンプとを備えるディスクポンプシステムおよびこのディスクポンプシステムに関連した方法。このシステムおよび方法は、アクチュエータの変位を測定するセンサ、および測定されたアクチュエータの変位に応じて各アクチュエータの前後の圧力差を決定するプロセッサを利用する。ディスクポンプは、既知の制限部に流体連通し、プロセッサは、各アクチュエータの前後の決定された圧力差および既知の制限部の特性に基づいてディスクポンプシステムの流量を決定する。