電荷担体光線の光線変数を算出するための方法、測定装置、並びに、電荷担体光線装置

摘要

【課題】電荷担体光線の光線変数を算出するための方法、測定装置、並びに、電荷担体光線装置にて、測定絞りの自動調整を可能とする。【解決手段】電荷担体光線装置（１）の電荷担体光線（４）は、光線偏向ユニット（３）を用いて、一つ又は複数のスリット絞り（８）を有し、絞り装置（７）内に設けられたスリット絞り装置上へと導かれる。スリット絞り装置を通過して入る光線の一部により、測定平面座標が検出される。測定平面座標を用い、絞り装置に配設された測定絞り（９）を予め与えられた測定基準点上方の位置へ移動させるように、絞り装置が自動で移動される。光線変数の測定は測定絞りを用いて行われる。当該方法に適した測定装置（５）では、スリット絞り装置は少なくとも二つの互いに平行ではないスリット絞り部分（１２、１３、１５、１６）を有し、これらは単独の途切れのないスリット絞りの一部であってもよい。