发明名称 使用电浆火焰热处理之电浆喷涂增进;PLASMA SPRAY COATING ENHANCEMENT USING PLASMA FLAME HEAT TREATMENT
摘要 一种用于在物件上形成抗电浆陶瓷涂层的方法,包括以下步骤:将物件放置在电浆喷洒系统的腔室或喷洒单元中。陶瓷粉末接着以粉末馈送率被馈送至电浆喷洒系统中,且抗电浆陶瓷涂层藉由电浆喷洒系统,在电浆喷洒制程中被沉积在物件的至少一个表面上。电浆喷洒系统接着被用以实行抗电浆陶瓷涂层的原位电浆火焰热处理,以在抗电浆陶瓷涂层上形成壳层。
申请公布号 TW201515087 申请公布日期 2015.04.16
申请号 TW103132095 申请日期 2014.09.17
申请人 应用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 孙语南 SUN, JENNIFER Y.;陈益凯 CHEN, YIKAI;卡农哥比拉贾P KANUNGO, BIRAJA P.
分类号 H01L21/306(2006.01) 主分类号 H01L21/306(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财李世章
主权项
地址 美国 US