适应性局部临限及色彩筛选;ADAPTIVE LOCAL THRESHOLD AND COLOR FILTERING

摘要

本发明提供使用适应性局部临限及色彩筛选来侦测一晶圆上之缺陷之方法及系统。一种方法包含：判定使用一检测系统所产生之一晶圆之输出中之像素的局部统计资料；基于该等局部统计资料来判定像素的哪些系离群点；及比较该等离群点与围绕该等离群点之该等像素，以识别不属于离群点之一群集之作为缺陷候选者之该等离群点。该方法亦包含：判定该等缺陷候选者之该等像素与围绕该等缺陷候选者之该等像素之间之一色彩差异之一值。该方法进一步包含：识别具有大于或等于一预定值之该色彩差异之一值之作为扰乱点缺陷之该等缺陷候选者；及识别具有小于该预定值之该色彩差异之一值之作为真实缺陷之该等缺陷候选者。