基板内矽布植及其之矽前驱物组合物之供给;SILICON IMPLANTATION IN SUBSTRATES AND PROVISION OF SILICON PRECURSOR COMPOSITIONS THEREFOR

摘要

本发明描述用于在基板中布植矽及/或矽离子的组合物、系统和方法，该等组合物、系统及方法涉及以相应的矽前驱物组合物生成矽及/或矽离子，及将该矽及/或矽离子布植于该基板中。