曝光装置用之图形使用者介面装置、曝光系统、曝光条件设定方法及记录媒体;GUI DEVICE FOR EXPOSURE DEVICE, EXPOSURE SYSTEM, METHOD FOR SETTING EXPOSURE CONDITION AND RECORDING MEDIUM

摘要

本发明之目的系提供一种可操作性较佳地选择以矩阵状配置于圆形状之基板上之区块，且可设定曝光条件之曝光装置用之GUI装置、曝光系统、曝光条件设定方法及记录媒体。;本发明系当操作者藉由操作部，于GUI装置之选择输入区域210输入所需之资讯时，于包含基板外形202与复数个区块203之初始画面上，与基板外形202同心圆状地显示选择圆204，且强调显示包含用于设定曝光条件之复数个选择区块206之选择区域205。