一种减小ＬＴＰＳ接触孔深宽比的工艺方法;PROCESS FOR REDUCING THE DEPTH TO WIDTH RATIO OF A LTPS CONTACT HOLE

摘要

本发明公开了一种减小LTPS接触孔深宽比的工艺方法，该方法具有一预刻蚀步骤，该预刻蚀步骤包括：在膜表面向下刻蚀一设定厚度，形成一垂直高度低于该膜表面的基准面；自该基准面向下制作形成该LTPS接触孔。本发明的方法在LTPS接触孔制作工艺中增加一步预刻蚀步骤，使接触孔区域的膜厚减小，最后形成的接触孔的倾角也随之减小，改善了器件的性能。