带电粒子束描绘装置及描绘腔室

摘要

实施形态之带电粒子束描绘装置，具备：平台，支撑作为描绘对象之试料；及描绘腔室，形成为具有侧壁及底板之箱形状，容纳平台且具有气密性。底板具有：复数个支撑部，与侧壁相连且支撑平台；及凸形状之弯曲部，与该些支撑部相连且朝向外部弯曲。