检查装置及检查用图像资料之制作方法;INSPECTION DEVICE AND METHOD FOR GENERATING GRAPHIC DATA FOR INSPECTION

摘要

一种检查装置，具备：一次光学系，照射带电粒子或电磁波成为射束；移动部，使检查对象在射束之照射位置上，依预定方向移动；TDI感测器，将使移动部依预定方向移动之同时进行之以射束对检查对象照射所获得之二次带电粒子或二次电磁波之量，沿着预定方向，以转送时脉之输入时序进行积算，并依序转送；位置检测部，检测移动部之位置；以及偏向部，根据检查对象之实际位置和目标位置之差分，使朝向TDI感测器之二次带电粒子或二次电磁波，偏向抵消差分之方向。目标位置系设定为：在1个转送时脉之输入到下一个转送时脉之输入为止之期间以下之预定时间，在目标位置维持在同一位置之后，上升达预定距离之阶梯状。