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发明名称
X射线产生用靶及X射线产生装置
摘要
本发明所揭示之X射线产生用靶于实施形态之一例中具有基板1。又,本发明所揭示之X射线产生用靶于实施形态之一例中具有设置于基板1之上表面之第1X射线靶部10-1。又,本发明所揭示之X射线产生用靶于实施形态之一例中,具有与第1X射线靶部10-1之外缘空开间隔而设置于基板1之上表面中之包围第1X射线靶部10-1之位置的第2X射线靶部10-2。
申请公布号
TW201515045
申请公布日期
2015.04.16
申请号
TW103125581
申请日期
2014.07.25
申请人
东京威力科创股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
山西良树 YAMANISHI, YOSHIKI;门泽克治 KADOSAWA, KATSUJI
分类号
H01J35/08(2006.01)
主分类号
H01J35/08(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本 JP;
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