敏辐射线性树脂组成物、光阻图型之形成方法、聚合物

摘要

本发明系关于一种敏辐射线性树脂组成物，其系含有具有酸解离性基之聚合物(A)、藉由辐射线照射产生酸之酸产生剂(B)及具有以下述通式(x)表示之官能基及氟原子之聚合物(C)，且前述聚合物(C)为氟原子含量高于前述聚合物(A)之聚合物，;[通式(x)中，R 1 为硷解离性基，A为氧原子(但，直接键结于芳香环、羰基及磺醯氧基者除外)、亚胺基、-CO-O-*或-SO2-O-*(「*」表示键结于R 1 之键结键)]。