太阳能电池结构、制造方法及其制程载具;SOLAR CELL STRUCTURE, MANUFACTURING METHOD AND PROCESS CARRIER OF THE SAME

摘要

一种太阳能电池制造方法，包含：提供具有第一及第二表面之晶片；于第一表面进行离子扩散制程，以形成掺质层；提供与平板载台电性连接之图样电极；将晶片之第二表面置于图样电极上，以使第二表面形成图样区域及非图样区域；使晶片藉由距晶片之第一表面特定距离处之第一电极以及平板载台及图样电极形成之第二电极施加之电场，通入沉积气体以产生电浆进行化学气相沉积制程，以同时于第一表面形成第一钝化薄膜以及于第二表面之非图样区域形成第二钝化薄膜；移除图样电极；以及于图样区域填入金属结构，以提供局部背电场。