Scanmikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Scanmikroskops

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Scanmikroskops und zum Bestimmen von Punktspreizfunktionen, mit welchen mit dem Scanmikroskop Probenbilder aufgenommen werden. Bei einem solchen Verfahren ist vorgesehen, dass eine Probe mit mindestens einem Beleuchtungslichtstrahl abgetastet wird, dass während dem Abtasten durch den Beleuchtungslichtstrahl mit einer Detektoreinrichtung des Scanmikroskops mindestens ein Probenbild aufgenommen wird, und dass aus dem mindestens einen Probenbild die Punktspreizfunktion berechnet wird, mit welcher durch das Scanmikroskop ein Probenbild aufgenommen wird. Es wird eine Detektoreinrichtung mit Empfangselementen verwendet, deren Abstand zueinander kleiner ist als eine Beugungsscheibe, welche ein Probenpunkt auf der Detektoreinrichtung erzeugt. Über die Empfangselemente erzeugte Detektorsignale werden jeweils für verschiedene Positionen des Beleuchtungslichtstrahls auf der Probe ausgelesen, womit über die Abtastung der Probe die ausgelesenen Detektorsignale mehrere Probenbilder ergeben. Dabei sind die Punktspreizfunktionen zu den verschiedenen Detektorsignalen jeweils über eine Beleuchtungs-Punktspreizfunktion und eine Detektions-Punktspreizfunktion definiert. Es wird zu allen Detektorsignalen eine übereinstimmende Beleuchtungs-Punktspreizfunktion angenommen, die gemäß der Abtastbewegung für verschiedene Detektorsignale verschoben ist. Zudem wird zu allen Detektorsignalen eine übereinstimmende Detektions-Punktspreizfunktion angenommen, in welcher ein räumlicher Versatz zwischen den Detektorelementen berücksichtigt wird. Mit den mehreren Probenbildern werden die Beleuchtungs-Punktspreizfunktion und die Detektions-Punktspreizfunktion berechnet und mit diesen die Punktspreizfunktionen zu den verschiedenen Detektorsignalen. Die Erfindung betrifft außerdem ein entsprechendes Scanmikroskop.