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Die vorliegende Erfindung betrifft Vorrichtung zur nasschemischen Behandlung von Substraten, insbesondere von Solarzellen, umfassend mindestens eine Aufnahmeeinrichtung, wobei in die mindestens eine Aufnahmeeinrichtung mindestens ein Substrat und mindestens ein Prozessmedium einbringbar oder eingebracht ist, wobei das mindestens eine Substrat mindestens eine Behandlungsseite aufweist, die mit dem Prozessmedium in Wirkverbindung bringbar ist oder steht, wobei mindestens ein Fluidführungselement mit einer definierten Oberflächenstruktur von der mindestens einen Aufnahmeeinrichtung umfasst ist, wobei die mindestens eine definierte Oberflächenstruktur des mindestens einen Fluidführungselement ausgelegt und eingerichtet ist, um eine Führung des Prozessmediums entlang der definierten Oberflächenstruktur bereitzustellen, und die mindestens eine definierte Oberflächenstruktur gegenüberliegend und in einem vorbestimmten festen Absatz beabstandet von der mindestens einen Behandlungsseite des mindestens einen Substrats anordenbar oder angeordnet ist, und wobei das Prozessmedium in dem Zwischenraum zwischen der definierten Oberflächenstruktur des mindestens einen Fluidführungselements und der mindestens einen Behandlungsseite des mindestens einen Substrats mittels einer Strömungserzeugungseinrichtung bewegbar ist oder bewegt wird und/oder die mindestens eine Behandlungsseite des mindestens einen Substrats entlang der definierten Oberflächenstruktur des mindestens einen Fluidführungselement und/oder die definierte Oberflächenstruktur des mindestens einen Fluidführungselement entlang der mindestens einen Behandlungsseite des mindestens einen Substrats bewegbar ist oder bewegt wird, eine Verfahren sowie eine Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung. |
