减少在反应室释气之方法及系统;METHOD AND SYSTEM TO REDUCE OUTGASSING IN A REACTION CHAMBER

摘要

本发明揭示减少反应器之反应室内物质之释气的系统及方法。例示性方法包括在该反应室内沈积障壁层及使用清除前驱体以与该反应室表面上之物质反应。例示性系统包括气相沈积系统，诸如原子层沈积系统，其包括流体地联接至该系统之反应室的障壁层源及/或清除前驱体源。