| 摘要 |
Eine photoakustische Gassensorvorrichtung zum Analysieren von Gas weist ein Sendemodul und ein druckempfindliches Modul auf. Das Sendemodul ist auf einem Trägersubstrat angeordnet und emittiert Lichtimpulse. Das druckempfindliche Modul ist auf dem Trägersubstrat innerhalb eines Referenzgasvolumens angeordnet. Das Referenzgasvolumen ist von einem für die Befüllung mit einem zu analysierenden Gas vorgesehenen Volumen getrennt. Zudem erzeugt das druckempfindliche Modul ein Sensorsignal, das Informationen über eine Schallwelle angibt, die von Lichtimpulsen verursacht wird, die vom Sendemodul, das mit einem Referenzgas innerhalb des Referenzgasvolumens wechselwirkt, emittiert werden. Zusätzlich dazu ist das Sendemodul so angeordnet, dass die vom Sendemodul emittierten Lichtimpulse das Referenzgasvolumen erreichen, nachdem sie durch das für die Befüllung mit dem zu analysierenden Gas vorgesehene Volumen hindurchgetreten sind. |
