晶圆的可适性电性测试;ADAPTIVE ELECTRICAL TESTING OF WAFERS

摘要

本发明提供用于判定一晶圆之电性测试之一或多个参数之方法及系统。一种方法包含判定通过形成于一晶圆上之一器件的电性测试路径，及对应于该等电性测试路径之各者之该器件之不同层中的实体布局组件。该方法亦包含基于该电性测试路径的一或多个特性来判定该晶圆之电性测试的一或多个参数。另外，该方法包含获取该晶圆之一实体版本之一或多个特性的资讯。藉由对该晶圆之该实体版本执行一线内程序来产生该资讯。该方法进一步包含基于该所获取的资讯来更改该晶圆之该电性测试之该一或多个参数的至少一者。