发明名称 METHOD FOR CHARACTERISATION OF ELECTRICAL PROPERTIES
摘要 <p>The present disclosure relates to methods for characterising electrically anisotropic samples by use of terahertz test signals having different orientations with respect to the sample.</p>
申请公布号 WO2015051806(A1) 申请公布日期 2015.04.16
申请号 WO2014DK50327 申请日期 2014.10.13
申请人 DANMARKS TEKNISKE UNIVERSITET 发明人 BURON, JONAS CHRISTIAN DUE;JEPSEN, PETER UHD;PETERSEN, DIRCH HJORT;BØGGILD, PETER
分类号 H01L21/66;G01N21/3581 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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