| 摘要 |
<p>Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bearbeitung einer Oberfläche (32) eines Substrats (20, 30), indem die Oberfläche (32) aufeinanderfolgenden Oberflächenreaktionen eines ersten Präkursors und eines zweiten Präkursors ausgesetzt wird. Die Vorrichtung umfasst einen Düsenkopf (6, 7) mit zwei oder mehr Präkursordüsen und einen Bewegungsmechanismus (8, 10) zum Bewegen des Düsenkopfes (6, 7) mit einer nichtlinearen Schwingungsbewegung in einer ersten und einer zweiten Bewegungsrichtung zwischen einer ersten Extremposition (B) und einer zweiten Extremposition (C) über eine Mittelposition (A). Der Bewegungsmechanismus umfasst erste Antriebsmittel (21, 22) zur Beschleunigung des Düsenkopfes (6, 7) in der ersten Bewegungsrichtung und zur Verlangsamung des Düsenkopfes in der zweiten Bewegungsrichtung und zweite Antriebsmittel (23, 24) zur Beschleunigung des Düsenkopfes (6, 7) in der zweiten Bewegungsrichtung und zur Verlangsamung des Düsenkopfes (6, 7) in der ersten Bewegungsrichtung.</p> |
