| 发明名称 |
光阻剥离液过滤器之洗净液、洗净装置及洗净方法 |
| 摘要 |
使自基板去除正型光阻后之光阻剥离液，藉过滤器去除光阻，使其可当作过滤器被再度利用。;在相对于洗净液全量而言，含有2.5~12.5质量%之氨水，与8.8~17.5质量%之过氧化氢之光阻剥离液过滤器的洗净液中，事先浸渍使用后之光阻剥离液过滤器，藉此，可去除附着之光阻，可再利用光阻剥离液过滤器。 |
| 申请公布号 |
TW201513922 |
申请公布日期 |
2015.04.16 |
| 申请号 |
TW103123271 |
申请日期 |
2014.07.07 |
| 申请人 |
松下电器产业股份有限公司 PANASONIC CORPORATION |
发明人 |
渊上真一郎 FUCHIGAMI, SHINICHIROU |
| 分类号 |
B01D29/78(2006.01);B01D35/16(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
B01D29/78(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
