发明名称 E-Schmelzsicherungsstruktur eines Halbleiterbauelements
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf eine E-Schmelzsicherungsstruktur eines Halbleiterbauelements. Die Erfindung stellt eine E-Schmelzsicherungsstruktur bereit, die eine Schmelzsicherungsverbindung (20f), die aus einem ersten Metallmaterial gebildet ist, um eine Kathode (20c) mit einer Anode (20a) zu verbinden, ein abdeckendes Dielektrikum, das eine Oberseite der Schmelzsicherungsverbindung bedeckt, sowie einen Dummy-Metallstift (50) beinhaltet, der das abdeckende Dielektrikum durchdringt und sich in Kontakt mit einem Bereich der Schmelzsicherungsverbindung befindet. Der Dummy-Metallstift beinhaltet eine Metallschicht sowie eine Barrierenmetallschicht, die zwischen der Metallschicht und der Schmelzsicherungsverbindung eingefügt ist. Die Barrierenmetallschicht ist aus einem zweiten Metallmaterial gebildet, das sich von dem ersten Metallmaterial unterscheidet. Verwendung in der Halbleiterbauelementtechnologie.
申请公布号 DE102014220316(A1) 申请公布日期 2015.04.16
申请号 DE201410220316 申请日期 2014.10.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 CHOI, HYUN-MIN;MAEDA, SHIGENOBU
分类号 H01L23/525 主分类号 H01L23/525
代理机构 代理人
主权项
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